真空泵机组，是以罗茨真空泵为主泵，螺杆真空泵为前级泵的抽气系统，此机组过流部分没有任何液体作工作液，压力不受水温影响，对被抽工艺气体不产生二次污染，便于排出气体的回收。
由于螺杆真空机组具有大龙8long8抽气量、高真空度、环保节能的优点，是目前国际上光为应用的真空设备。
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